1.不準檢查、維護保養處於工作狀態的半導體無塵車間行車

    2.半導體無塵車間行車在進行檢查之前要將其停穩後而且要將電源切斷。

    3.半導體無塵車間行車在檢修時要將電源切斷，要將所要開關歸零。

    4.在對半導體無塵車間行車進行檢查時要先將防護用品穿戴好，且不能在主梁上跨越或者行走。

    5.半導體無塵車間行車金屬結構件的焊接材料和焊條要符合原結構要求；

    6.要確保半導體無塵車間行車所需更換的零部件與原來的零部件性能一致

    7.不能站在主梁上對半導體無塵車間行車進行清掃。

    8.要將半導體無塵車間行車移動到不影響其他半導體無塵車間行車作業的地方進行維修保養。如果沒有達到要求，要設置專人來進行監護。

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